超微小プラズマビームを用いた新しいマイクロ表面処理/加工テクノロジーの創製
著者
書誌事項
超微小プラズマビームを用いた新しいマイクロ表面処理/加工テクノロジーの創製
寺嶋和夫, 2002.3
- タイトル別名
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平成12〜13年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書
文部科学省科学研究費補助金(基盤研究B2)研究成果報告書
- タイトル読み
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チョウ ビショウ プラズマ ビーム オ モチイタ アタラシイ マイクロ ヒョウメン ショリ カコウ テクノロジー ノ ソウセイ
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