超微小プラズマビームを用いた新しいマイクロ表面処理/加工テクノロジーの創製

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超微小プラズマビームを用いた新しいマイクロ表面処理/加工テクノロジーの創製

研究代表者、寺嶋和夫

寺嶋和夫, 2002.3

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平成12〜13年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書

文部科学省科学研究費補助金(基盤研究B2)研究成果報告書

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チョウ ビショウ プラズマ ビーム オ モチイタ アタラシイ マイクロ ヒョウメン ショリ カコウ テクノロジー ノ ソウセイ

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Details

  • NCID
    BA57525981
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    engjpn
  • Place of Publication
    [東京]
  • Pages/Volumes
    1冊
  • Size
    30cm
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