シリコン基板上に界面制御して形成した単結晶強誘電体薄膜の作製

著者

• 堀田, 將 ホリタ, ススム

書誌事項

シリコン基板上に界面制御して形成した単結晶強誘電体薄膜の作製

研究代表者 堀田將

（科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書, 平成12年度-平成13年度）

[堀田將], 2002.4

タイトル読み

シリコン キバンジョウ ニ カイメン セイギョシテ ケイセイシタ タンケッショウ キョウユウデンタイ ハクマク ノ サクセイ

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA57539589
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [辰口町(石川県)]
• ページ数/冊数: 1冊
• 大きさ: 30cm
• 親書誌ID:
  • BA30195401