ナノアブレージョンによる硬脆材料の超精密仕上げ加工に関する研究
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ナノアブレージョンによる硬脆材料の超精密仕上げ加工に関する研究
(科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書, 平成10年度-平成12年度)
堀内宰, 2001.3
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ナノアブレージョン ニヨル コウゼイ ザイリョウ ノ チョウセイミツ シアゲ カコウ ニ カンスル ケンキュウ
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注記
研究課題番号: 10450056