ULSI極微細・高アスペクト比孔の低損傷形成研究

著者

• 堀池, 靖浩 ホリイケ, ヤスヒロ
• 市野瀬, 英喜 イチノセ, ヒデキ
• 一木, 隆範 イチキ, タカノリ
• 関根, 誠

書誌事項

ULSI極微細・高アスペクト比孔の低損傷形成研究

研究代表者、堀池靖浩

堀池靖浩, 2002.3

タイトル別名

平成13年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書

文部科学省科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書

タイトル読み

ULSI キョクビサイ コウアスペクトヒ コウ ノ テイソンショウ ケイセイ ケンキュウ

注記

研究分担者: 市野瀬英[喜]、一木隆範、関根誠

「はしがきの研究分担者 (誤植) : 市野瀬英樹...」

• NII書誌ID(NCID): BA57636916
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: engjpn
• 出版地: [東京]
• ページ数/冊数: 82p
• 大きさ: 30cm