高温金属表面におけるシランの分解反応素過程に関する研究

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高温金属表面におけるシランの分解反応素過程に関する研究

研究代表者 越光男

越光男, 2002.3

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平成11年度〜平成13年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書

文部科学省科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書

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コウオン キンゾク ヒョウメン ニオケル シラン ノ ブンカイ ハンノウソ カテイ ニ カンスル ケンキュウ

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Note

研究分担者: 三好明, 戸野倉賢一

Details

  • NCID
    BA57652253
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpneng
  • Place of Publication
    [東京]
  • Pages/Volumes
    50p
  • Size
    30cm
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