電子温度制御プラズマによるラジカルの単色化に関する研究
著者
書誌事項
電子温度制御プラズマによるラジカルの単色化に関する研究
[出版者不明], 2002.3
- タイトル別名
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平成11年度〜平成13年度科学研究補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書
- タイトル読み
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デンシ オンド セイギョ プラズマ ニヨル ラジカル ノ タンショクカ ニカンスル ケンキュウ
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注記
課題番号:11305004
研究分担者: 堀勝, 伊藤昌文