電子温度制御プラズマによるラジカルの単色化に関する研究

書誌事項

電子温度制御プラズマによるラジカルの単色化に関する研究

後藤俊夫[ほか著]

[出版者不明], 2002.3

タイトル別名

平成11年度〜平成13年度科学研究補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書

タイトル読み

デンシ オンド セイギョ プラズマ ニヨル ラジカル ノ タンショクカ ニカンスル ケンキュウ

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注記

課題番号:11305004

研究分担者: 堀勝, 伊藤昌文

詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BA58170178
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    jpn
  • 本文言語コード
    engjpn
  • 出版地
    [出版地不明]
  • ページ数/冊数
    111p
  • 大きさ
    30cm
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