負イオンビーム材料プロセス技術

著者

• 石川, 順三 イシカワ, ジュンゾウ

書誌事項

負イオンビーム材料プロセス技術

石川順三研究代表

[石川順三], 1998

タイトル別名

平成8年度-平成9年度科学研究費補助金国際学術研究研究成果報告書

タイトル読み

フ イオン ビーム ザイリョウ プロセス ギジュツ

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA58229361
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [京都]
• ページ数/冊数: 1冊
• 大きさ: 30cm