シリコン表面での拡散係数測定とシミュレーション

著者

• 渡鍋, 文哉 ワタナベ, フミヤ

書誌事項

シリコン表面での拡散係数測定とシミュレーション

研究代表者 渡鍋 文哉

（科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書, 平成12年度-平成13年度）

[九州大学], 2002.3

タイトル別名

平成12年度〜平成13年度科学研究費補助金(基盤研究(C) (2))研究成果報告書

タイトル読み

シリコン ヒョウメン デノ カクサン ケイスウ ソクテイ ト シミュレーション

注記

課題番号: 12650030

• NII書誌ID(NCID): BA58323461
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [福岡]
• ページ数/冊数: 1冊
• 大きさ: 30cm
• 親書誌ID:
  • BA30195401