シリコン表面での拡散係数測定とシミュレーション

Author(s)

• 渡鍋, 文哉 ワタナベ, フミヤ

Bibliographic Information

シリコン表面での拡散係数測定とシミュレーション

研究代表者 渡鍋 文哉

（科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書, 平成12年度-平成13年度）

[九州大学], 2002.3

Other Title

平成12年度〜平成13年度科学研究費補助金(基盤研究(C) (2))研究成果報告書

Title Transcription

シリコン ヒョウメン デノ カクサン ケイスウ ソクテイ ト シミュレーション

Note

課題番号: 12650030

Details

• NCID: BA58323461
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpneng
• Place of Publication: [福岡]
• Pages/Volumes: 1冊
• Size: 30cm
• Parent Bibliography ID:
  • BA30195401