サブミクロン電位分布測定装置の開発による電子デバイス内の界面剥離・原子輸送の測定

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サブミクロン電位分布測定装置の開発による電子デバイス内の界面剥離・原子輸送の測定

大谷隆一研究代表

[大谷隆一], 2001.3

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平成10年度-平成12年度科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書

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サブミクロン デンイ ブンプ ソクテイ ソウチ ノ カイハツ ニ ヨル デンシ デバイスナイ ノ カイメン ハクリ ゲンシ ユソウ ノ ソクテイ

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Details

  • NCID
    BA5832395X
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpneng
  • Place of Publication
    [京都]
  • Pages/Volumes
    1冊
  • Size
    30cm
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