サブミクロン電位分布測定装置の開発による電子デバイス内の界面剥離・原子輸送の測定

著者

• 大谷, 隆一 オオタニ, リュウイチ

書誌事項

サブミクロン電位分布測定装置の開発による電子デバイス内の界面剥離・原子輸送の測定

大谷隆一研究代表

[大谷隆一], 2001.3

タイトル別名

平成10年度-平成12年度科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書

タイトル読み

サブミクロン デンイ ブンプ ソクテイ ソウチ ノ カイハツ ニ ヨル デンシ デバイスナイ ノ カイメン ハクリ ゲンシ ユソウ ノ ソクテイ

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA5832395X
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [京都]
• ページ数/冊数: 1冊
• 大きさ: 30cm