その場微小機械要素創製・機械的特性評価装置の開発

著者

• 駒井, 謙治郎 コマイ, ケンジロウ

書誌事項

その場微小機械要素創製・機械的特性評価装置の開発

駒井謙治郎研究代表

[駒井謙治郎], 2001.3

タイトル別名

平成11年度-平成12年度科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書

タイトル読み

ソノ バ ビショウ キカイ ヨウソ ソウセイ ・ キカイテキ トクセイ ヒョウカ ソウチ ノ カイハツ

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA58336361
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: [京都]
• ページ数/冊数: 1冊
• 大きさ: 30cm