高速度イオンの電子的スパッタリングによるクラスター粒子生成機構の解明と応用

著者

• 今西, 信嗣 イマニシ, ノブツグ

書誌事項

高速度イオンの電子的スパッタリングによるクラスター粒子生成機構の解明と応用

今西信嗣研究代表

[今西信嗣], 1999

タイトル別名

平成9年度-平成11年度科学研究費補助金基盤研究(B)(2)研究成果報告書

タイトル読み

コウソクド イオン ノ デンシテキ スパッタリング ニ ヨル クラ スター リュウシ セイセイ キコウ ノ カイメイ ト オウヨウ

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA58339621
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: und
• 出版地: [京都]
• ページ数/冊数: 1冊
• 大きさ: 30cm