顕微干渉分光法による超微細構造内のプロセス診断法の開発

著者

• 橘, 邦英 タチバナ, クニヒデ

書誌事項

顕微干渉分光法による超微細構造内のプロセス診断法の開発

橘邦英研究代表

[橘邦英], 1999

タイトル別名

平成10年度-平成11年度科学研究費補助金基盤研究(B)(2)研究成果報告書

タイトル読み

ケンビ カンショウ ブンコウホウ ニ ヨル チョウビサイ コウゾウナイ ノ プロセス シンダンホウ ノ カイハツ

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA58358105
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: und
• 出版地: [京都]
• ページ数/冊数: 1冊
• 大きさ: 30cm