半導体製造装置の信頼度向上 : 信頼度の基本と向上への具体的な取り組み

著者

• 坂本, 雄三郎 サカモト, ユウザブロウ
• Dhudshia, Vallabh H.

書誌事項

半導体製造装置の信頼度向上 : 信頼度の基本と向上への具体的な取り組み

坂本雄三郎, Vallabh H.Dhudshia共著

（21世紀のテクノロジ・シリーズ）

EDリサーチ社, 2002.7

タイトル読み

ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ノ シンライド コウジョウ : シンライド ノ キホン ト コウジョウ エノ グタイテキナ トリクミ

注記

章末: 参考文献

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA58398733
• ISBN:
  • 4901790080
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: xiv, 174p
• 大きさ: 21cm
• 親書誌ID:
  • BA58398700