窒化物半導体の選択成長法による金属埋込みと結晶欠陥の低減
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窒化物半導体の選択成長法による金属埋込みと結晶欠陥の低減
（科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書, 平成11年度〜平成13年度）
[平松和政], 2002.3
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チッカブツ ハンドウタイ ノ センタク セイチョウホウ ニヨル キンゾク ウメコミ ト ケッショウ ケッカン ノ テイゲン
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注記
課題番号: 11450012