超LSI製造用ガスフローメータステンレス細管内壁の超精密研磨

書誌事項

超LSI製造用ガスフローメータステンレス細管内壁の超精密研磨

研究代表者 黒部利次

(科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書, 平成10年度〜平成12年度)

[黒部利次], 2001.3

タイトル読み

チョウLSI セイゾウヨウ ガス フロー メータ ステンレス サイカン ナイヘキ ノ チョウセイミツ ケンマ

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注記

課題番号 : 10650110

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詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BA58718834
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    jpn
  • 本文言語コード
    jpn
  • 出版地
    [金沢]
  • ページ数/冊数
    ii, 68枚
  • 大きさ
    30cm
  • 親書誌ID
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