超LSI製造用ガスフローメータステンレス細管内壁の超精密研磨

Author(s)

• 黒部, 利次 クロベ, トシジ

Bibliographic Information

超LSI製造用ガスフローメータステンレス細管内壁の超精密研磨

研究代表者 黒部利次

（科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書, 平成10年度〜平成12年度）

[黒部利次], 2001.3

Title Transcription

チョウLSI セイゾウヨウ ガス フロー メータ ステンレス サイカン ナイヘキ ノ チョウセイミツ ケンマ

Note

課題番号 : 10650110

Details

• NCID: BA58718834
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: [金沢]
• Pages/Volumes: ii, 68枚
• Size: 30cm
• Parent Bibliography ID:
  • BA30195401