超LSI製造用ガスフローメータステンレス細管内壁の超精密研磨
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超LSI製造用ガスフローメータステンレス細管内壁の超精密研磨
（科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書, 平成10年度〜平成12年度）
[黒部利次], 2001.3
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チョウLSI セイゾウヨウ ガス フロー メータ ステンレス サイカン ナイヘキ ノ チョウセイミツ ケンマ
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課題番号 : 10650110
