表面張力の温度依存性を利用したマイクロマシン用アクチュエータの開発
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表面張力の温度依存性を利用したマイクロマシン用アクチュエータの開発
[吉田英生], 2002.3
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平成11年度-平成13年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書
表面張力の温度依存性を利用したマイクロマシン用アクチュエータの開発
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ヒョウメン チョウリョク ノ オンド イゾンセイ オ リヨウ シタ マイクロ マシン ヨウ アクチュエータ ノ カイハツ
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