表面張力の温度依存性を利用したマイクロマシン用アクチュエータの開発

著者

• 吉田, 英生 ヨシダ, ヒデオ

書誌事項

表面張力の温度依存性を利用したマイクロマシン用アクチュエータの開発

吉田英生研究代表

[吉田英生], 2002.3

タイトル別名

平成11年度-平成13年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書

表面張力の温度依存性を利用したマイクロマシン用アクチュエータの開発

タイトル読み

ヒョウメン チョウリョク ノ オンド イゾンセイ オ リヨウ シタ マイクロ マシン ヨウ アクチュエータ ノ カイハツ

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA58802839
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: engjpn
• 出版地: [京都]
• ページ数/冊数: 1冊
• 大きさ: 30cm