プラズマアシストCVDによるグラファイト類似炭素薄膜の作製

著者

• 小久見, 善八 オグミ, ゼンパチ

書誌事項

プラズマアシストCVDによるグラファイト類似炭素薄膜の作製

小久見善八研究代表

[小久見善八], 2002.3

タイトル別名

平成13年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(1))研究成果報告書

タイトル読み

プラズマ アシスト CVD ニ ヨル グラファイト ルイジ タンソ ハクマク ノ サクセイ

• NII書誌ID(NCID): BA58836761
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [京都]
• ページ数/冊数: vi, 140p
• 大きさ: 30cm