プラズマアシストCVDによるグラファイト類似炭素薄膜の作製

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プラズマアシストCVDによるグラファイト類似炭素薄膜の作製

小久見善八研究代表

[小久見善八], 2002.3

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平成13年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(1))研究成果報告書

Title Transcription

プラズマ アシスト CVD ニ ヨル グラファイト ルイジ タンソ ハクマク ノ サクセイ

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Details

  • NCID
    BA58836761
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpneng
  • Place of Publication
    [京都]
  • Pages/Volumes
    vi, 140p
  • Size
    30cm
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