ULSI製造における汚染の実態 : 製造現場の実態と今後の課題

著者

書誌事項

ULSI製造における汚染の実態 : 製造現場の実態と今後の課題

リアライズ社, 1999.7

タイトル別名

The status quo of contamination in ULSI manufacturing

タイトル読み

ULSI セイゾウ ニ オケル オセン ノ ジッタイ : セイゾウ ゲンバ ノ ジッタイ ト コンゴ ノ カダイ

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA58945439
• ISBN:
  • 4898080170
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 475, 8p
• 大きさ: 30cm
• 分類:
  • NDC9 : 549.7
  • NDLC : ND386
• 件名:
  • NDLSH : 集積回路
  • NDLSH : 工程管理