第2高調波エリプソメトリを用いた半導体の2次非線形光学特性に関する研究

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第2高調波エリプソメトリを用いた半導体の2次非線形光学特性に関する研究

伊藤良一研究代表者

（科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書, 平成11年度-平成13年度）

[伊藤良一], 2002.3

Title Transcription

ダイ2 コウチョウハ エリプソメトリ オ モチイタ ハンドウタイ ノ 2ジ ヒセンケイ コウガク トクセイ ニ カンスル ケンキュウ

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Note

研究分担者: 崔博坤, 立川真樹, 三浦登, 近藤高志, 庄司一郎

課題番号: 11305010

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Details

  • NCID
    BA5898507X
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    [川崎]
  • Pages/Volumes
    iii, 65p
  • Size
    30cm
  • Parent Bibliography ID
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