第2高調波エリプソメトリを用いた半導体の2次非線形光学特性に関する研究

書誌事項

第2高調波エリプソメトリを用いた半導体の2次非線形光学特性に関する研究

伊藤良一研究代表者

(科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書, 平成11年度-平成13年度)

[伊藤良一], 2002.3

タイトル読み

ダイ2 コウチョウハ エリプソメトリ オ モチイタ ハンドウタイ ノ 2ジ ヒセンケイ コウガク トクセイ ニ カンスル ケンキュウ

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注記

研究分担者: 崔博坤, 立川真樹, 三浦登, 近藤高志, 庄司一郎

課題番号: 11305010

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詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BA5898507X
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    jpn
  • 本文言語コード
    jpn
  • 出版地
    [川崎]
  • ページ数/冊数
    iii, 65p
  • 大きさ
    30cm
  • 親書誌ID
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