第2高調波エリプソメトリを用いた半導体の2次非線形光学特性に関する研究
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第2高調波エリプソメトリを用いた半導体の2次非線形光学特性に関する研究
(科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書, 平成11年度-平成13年度)
[伊藤良一], 2002.3
- タイトル読み
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ダイ2 コウチョウハ エリプソメトリ オ モチイタ ハンドウタイ ノ 2ジ ヒセンケイ コウガク トクセイ ニ カンスル ケンキュウ
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注記
研究分担者: 崔博坤, 立川真樹, 三浦登, 近藤高志, 庄司一郎
課題番号: 11305010