Ti-Ni形状記憶合金スパッタ薄膜を用いたマイクロアクチュエータの作製

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Ti-Ni形状記憶合金スパッタ薄膜を用いたマイクロアクチュエータの作製

宮崎修一研究代表者

[宮崎修一], 2002.3

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科学研究費補助金(基盤研究B)研究成果報告書 : 平成10年度-平成12年度

Title Transcription

Ti-Ni ケイジョウ キオク ゴウキン スパッタ ハクマク オ モチイタ マイクロ アクチュエータ ノ サクセイ

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Note

英文併載

課題番号: 10555210

Details

  • NCID
    BA59008980
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpneng
  • Place of Publication
    [つくば]
  • Pages/Volumes
    1冊
  • Size
    30cm
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