シリコン中の水素の精密制御と薄膜トランジスターへの応用

著者

• 村上, 浩一 ムラカミ, コウイチ

書誌事項

シリコン中の水素の精密制御と薄膜トランジスターへの応用

村上浩一研究代表者

[村上浩一], 2002.3

タイトル別名

科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書 : 平成11年度-13年度

タイトル読み

シリコンチュウ ノ スイソ ノ セイミツ セイギョ ト ヒマク トランジスター エノ オウヨウ

注記

研究課題番号: 11555001

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA59300698
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [つくば]
• ページ数/冊数: 1冊
• 大きさ: 30cm