シリコン中の水素の精密制御と薄膜トランジスターへの応用

Author(s)

• 村上, 浩一 ムラカミ, コウイチ

Bibliographic Information

シリコン中の水素の精密制御と薄膜トランジスターへの応用

村上浩一研究代表者

[村上浩一], 2002.3

Other Title

科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書 : 平成11年度-13年度

Title Transcription

シリコンチュウ ノ スイソ ノ セイミツ セイギョ ト ヒマク トランジスター エノ オウヨウ

Note

研究課題番号: 11555001

• NCID: BA59300698
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpneng
• Place of Publication: [つくば]
• Pages/Volumes: 1冊
• Size: 30cm