シリコン中の水素の精密制御と薄膜トランジスターへの応用
Author(s)
Bibliographic Information
シリコン中の水素の精密制御と薄膜トランジスターへの応用
[村上浩一], 2002.3
- Other Title
-
科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書 : 平成11年度-13年度
- Title Transcription
-
シリコンチュウ ノ スイソ ノ セイミツ セイギョ ト ヒマク トランジスター エノ オウヨウ
Available at / 1 libraries
-
No Libraries matched.
- Remove all filters.
Search this Book/Journal
Note
研究課題番号: 11555001