シリコン中の水素の精密制御と薄膜トランジスターへの応用
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シリコン中の水素の精密制御と薄膜トランジスターへの応用
[村上浩一], 2002.3
- タイトル別名
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科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書 : 平成11年度-13年度
- タイトル読み
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シリコンチュウ ノ スイソ ノ セイミツ セイギョ ト ヒマク トランジスター エノ オウヨウ
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注記
研究課題番号: 11555001