MOCVD法による強誘電体薄膜の高速大面積成長とメモリ等のデバイスへの実用化研究

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MOCVD法による強誘電体薄膜の高速大面積成長とメモリ等のデバイスへの実用化研究

研究代表者塩嵜忠

（科学研究費補助金(基盤研究(B)(1))研究成果報告, 平成9-10年度）

[奈良先端科学技術大学院大学], 1999.3

Other Title

平成9年-平成10年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(1))研究成果報告書

Title Transcription

MOCVDホウ ニヨル キョウユウデンタイ ハクマク ノ コウソク ダイメンセキ セイチョウ ト メモリ ナドノ デバイス エノ ジツヨウカ ケンキュウ

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課題番号009555099

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Details

  • NCID
    BA5932640X
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpneng
  • Place of Publication
    [生駒]
  • Pages/Volumes
    1冊
  • Size
    30 cm
  • Parent Bibliography ID
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