超薄膜銀蒸着シリコン(111)表面への活性ガスの吸着脱離
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書誌事項
超薄膜銀蒸着シリコン(111)表面への活性ガスの吸着脱離
(科学研究費補助金(基盤研究C)研究成果報告書, 平成12-13年度)
[奈良先端科学技術大学院大学], 2002.3
- タイトル別名
-
平成12年度-平成13年度学研究費補助金基盤研究(C)研究成果報告書
- タイトル読み
-
チョウハクマク ギン ジョウチャク シリコン 111 ヒョウメン エノ カッセイガス ノ キュウチャク ダツリ
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注記
課題番号12640313