超薄膜銀蒸着シリコン(111)表面への活性ガスの吸着脱離

Author(s)

    • 服部, 賢 ハットリ. ケン

Bibliographic Information

超薄膜銀蒸着シリコン(111)表面への活性ガスの吸着脱離

研究代表者服部賢

(科学研究費補助金(基盤研究C)研究成果報告書, 平成12-13年度)

[奈良先端科学技術大学院大学], 2002.3

Other Title

平成12年度-平成13年度学研究費補助金基盤研究(C)研究成果報告書

Title Transcription

チョウハクマク ギン ジョウチャク シリコン 111 ヒョウメン エノ カッセイガス ノ キュウチャク ダツリ

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Note

課題番号12640313

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Details

  • NCID
    BA59408956
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    [生駒]
  • Pages/Volumes
    1冊
  • Size
    30 cm
  • Parent Bibliography ID
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