超薄膜銀蒸着シリコン(111)表面への活性ガスの吸着脱離

著者

• 服部, 賢 ハットリ. ケン

書誌事項

超薄膜銀蒸着シリコン(111)表面への活性ガスの吸着脱離

研究代表者服部賢

（科学研究費補助金(基盤研究C)研究成果報告書, 平成12-13年度）

[奈良先端科学技術大学院大学], 2002.3

タイトル別名

平成12年度-平成13年度学研究費補助金基盤研究(C)研究成果報告書

タイトル読み

チョウハクマク ギン ジョウチャク シリコン 111 ヒョウメン エノ カッセイガス ノ キュウチャク ダツリ

注記

課題番号12640313

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA59408956
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: [生駒]
• ページ数/冊数: 1冊
• 大きさ: 30 cm
• 親書誌ID:
  • BA30764121