軽イオン・スパッタリングのダイナミカル・シミュレーション

Author(s)

    • 剣持, 貴弘 ケンモツ, タカヒロ

Bibliographic Information

軽イオン・スパッタリングのダイナミカル・シミュレーション

剣持貴弘 [著]

[剣持貴弘], 1998

Other Title

博士論文

総合研究大学院大学数物科学研究科核融合科学専攻博士論文

Title Transcription

ケイイオン スパッタリング ノ ダイナミカル シミュレーション

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Note

総合研究大学院大学数物科学研究科核融合科学専攻博士論文・平成11年3月24日授与(甲第393号理学)

Details

  • NCID
    BA59439836
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    [土岐]
  • Pages/Volumes
    110枚
  • Size
    30cm
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