光リソグラフィ技術

Author(s)

• 東木, 達彦 ヒガシキ, タツヒコ

Bibliographic Information

光リソグラフィ技術

東木達彦著

（Focus Report, 2, 15, 19）

EDリサーチ社, 2002.7-

• [1]: 実践的基礎と課題
• 2: 計測と制御
• 3: 実践的基礎と応用

Other Title

光リソグラフィ技術 : 実践的基礎と課題

光リソグラフィ技術2 : 計測と制御

光リソグラフィ技術3 : 実践的基礎と応用

Title Transcription

ヒカリ リソグラフィ ギジュツ

Details

• NCID: BA60039813
• ISBN:
  • 4901790102
  • 4901790285
  • 4901790382
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: 東京
• Pages/Volumes: 冊
• Size: 26cm
• Parent Bibliography ID:
  • BA58398391