光リソグラフィ技術

著者

• 東木, 達彦 ヒガシキ, タツヒコ

書誌事項

光リソグラフィ技術

東木達彦著

（Focus Report, 2, 15, 19）

EDリサーチ社, 2002.7-

• [1]: 実践的基礎と課題
• 2: 計測と制御
• 3: 実践的基礎と応用

タイトル別名

光リソグラフィ技術 : 実践的基礎と課題

光リソグラフィ技術2 : 計測と制御

光リソグラフィ技術3 : 実践的基礎と応用

タイトル読み

ヒカリ リソグラフィ ギジュツ

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA60039813
• ISBN:
  • 4901790102
  • 4901790285
  • 4901790382
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 冊
• 大きさ: 26cm
• 親書誌ID:
  • BA58398391