Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS : 9-11 May 2000, Paris, France

著者

    • Courtois, Bernard

書誌事項

Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS : 9-11 May 2000, Paris, France

Bernard Courtois ... [et al.] ; sponsored by CNRS-INPG-UJF(France), The Institute of Electrical and Electronics Engineers, IEEE Computer Society Test Technology Technical Council

(Proceedings / SPIE -- the International Society for Optical Engineering, v. 4019)

SPIE, c2000

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  • Proceedings

    SPIE -- the International Society for Optical Engineering

    SPIE -- the International Society for Optical Engineering

詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BA60204603
  • ISBN
    • 0819436453
  • 出版国コード
    us
  • タイトル言語コード
    eng
  • 本文言語コード
    eng
  • 出版地
    Bellingham, Wash.
  • ページ数/冊数
    xv, 596 p.
  • 大きさ
    28 cm
  • 親書誌ID
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