Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS : 9-11 May 2000, Paris, France
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書誌事項
Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS : 9-11 May 2000, Paris, France
(Proceedings / SPIE -- the International Society for Optical Engineering, v. 4019)
SPIE, c2000
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