マイクロマシン技術総覧 : ナノテクノロジーの基盤技術

著者

• マイクロマシン技術総覧編集委員会 マイクロ マシン ギジュツ ソウラン ヘンシュウ イインカイ
• 樋口, 俊郎 ヒグチ, トシロウ

書誌事項

マイクロマシン技術総覧 : ナノテクノロジーの基盤技術

マイクロマシン技術総覧編集委員会編

産業技術サービスセンター, 2003.1

タイトル別名

マイクロマシン技術総覧 : ナノテクノロジーの基盤技術

タイトル読み

マイクロマシン ギジュツ ソウラン : ナノテクノロジー ノ キバン ギジュツ

注記

編集委員長: 樋口俊郎

参考文献: 節末

内容説明・目次

目次

• 総論　マイクロテクノロジーへの展開
• 第１編　基礎編（マイクロ理工学；マイクロ材料）
• 第２編　微細加工技術（機械加工；マイクロ電気加工・ビーム加工；エッチング；ＰＶＤ、ＣＶＤ；ＬＩＧＡプロセス；マイクロ光造形）
• 第３編　マイクロマシンの要素（総論—ナノ・マイクロマシンを設計する；マイクロメカニズム；マイクロアクチュエータ；マイクロマニピュレーション；マイクロ計測）
• 第４編　マイクロマシン応用例（マイクロアクチュエータの応用；マイクロ要素・デバイス；マイクロセンサデバイス；マイクロシステム；その他）

「BOOKデータベース」 より

• NII書誌ID(NCID): BA60685862
• ISBN:
  • 4915957403
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 753, 6p
• 大きさ: 27cm
• 分類:
  • NDC8 : 530
  • NDC9 : 530
  • NDC9 : 530.36
• 件名:
  • BSH : マイクロマシン