半導体洗浄と環境適応技術 : ほしい技術が見えてくる!

Author(s)

• 独立行政法人工業所有権総合情報館 ドクリツ ギョウセイ ホウジン コウギョウ ショユウケン ソウゴウ ジョウホウカン

Bibliographic Information

半導体洗浄と環境適応技術 : ほしい技術が見えてくる!

独立行政法人工業所有権総合情報館編

（特許流通支援チャート, . 一般 ; 3）

発明協会, 2002.6

Title Transcription

ハンドウタイ センジョウ ト カンキョウ テキオウ ギジュツ

Details

• NCID: BA60928567
• ISBN:
  • 4827106819
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: 東京
• Pages/Volumes: xii, 259p
• Size: 30cm
• Classification:
  • NDC8 : 507.23
  • NDC9 : 507.23
• Subject Headings:
  • BSH : 特許
  • BSH : 半導体
  • BSH : 洗浄法
• Parent Bibliography ID:
  • BA60823445