半導体洗浄と環境適応技術 : ほしい技術が見えてくる!

著者

• 独立行政法人工業所有権総合情報館 ドクリツ ギョウセイ ホウジン コウギョウ ショユウケン ソウゴウ ジョウホウカン

書誌事項

半導体洗浄と環境適応技術 : ほしい技術が見えてくる!

独立行政法人工業所有権総合情報館編

（特許流通支援チャート, . 一般 ; 3）

発明協会, 2002.6

タイトル読み

ハンドウタイ センジョウ ト カンキョウ テキオウ ギジュツ

• NII書誌ID(NCID): BA60928567
• ISBN:
  • 4827106819
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: xii, 259p
• 大きさ: 30cm
• 分類:
  • NDC8 : 507.23
  • NDC9 : 507.23
• 件名:
  • BSH : 特許
  • BSH : 半導体
  • BSH : 洗浄法
• 親書誌ID:
  • BA60823445