Proceedings, IEEE the Sixteenth Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems : Kyoto, Japan, January 19-23, 2003
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Proceedings, IEEE the Sixteenth Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems : Kyoto, Japan, January 19-23, 2003
IEEE Operations Center, c2003
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MEMS-03 Kyoto
MEMS-2003
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注記
"IEEE catalog number: 03CH37426"
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