Silicon processing for the VLSI era

著者

• Wolf, Stanley
• Tauber, Richard N.

書誌事項

Silicon processing for the VLSI era

Stanley Wolf, Richard N. Tauber

Lattice Press, c2000

2nd ed

• v. 1

注記

vol. 1: Process technology

Includes bibliographies and indexes

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA62052368
• ISBN:
  • 0961672161
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Sunset Beach, Calif.
• ページ数/冊数: v.
• 大きさ: 25 cm
• 分類:
  • NDC8 : 549.7
  • LCC : TK7874
  • DC19 : 621.381/73
• 件名:
  • LCSH : Integrated circuits -- Very large scale integration
  • LCSH : Silicon