エレクトロニクス用レジストの最新動向

著者

• 東レリサーチセンター調査研究部門 トウレ リサーチ センター チョウサ ケンキュウ ブモン

書誌事項

エレクトロニクス用レジストの最新動向

東レリサーチセンター調査研究部門編

（TRC R&D library）

東レリサーチセンター, 2003.1

タイトル読み

エレクトロニクスヨウ レジスト ノ サイシン ドウコウ

注記

各章末: 引用文献

• NII書誌ID(NCID): BA62141810
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 6, 534p
• 大きさ: 30cm
• 親書誌ID:
  • BN03390472