Silicon carbide 2002 -- materials, processing and devices : symposium held December 2-4, 2002, Boston, Massachusetts, U.S.A.
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Silicon carbide 2002 -- materials, processing and devices : symposium held December 2-4, 2002, Boston, Massachusetts, U.S.A.
（Materials Research Society symposium proceedings, v. 742）
Materials Research Society, c2003
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注記
Includes bibliographical references and indexes
