ゾル-ゲル法による高屈折率透明厚膜材料の作製と微細パターニング
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ゾル-ゲル法による高屈折率透明厚膜材料の作製と微細パターニング
（科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書, 平成13年度-平成14年度）
[南努], 2003.5
- タイトル読み
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ゾル ゲルホウ ニ ヨル コウクッセツリツ トウメイ コウマク ザイリョウ ノ サクセイ ト ビサイ パターニング
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注記
課題番号: 13555242
研究分担者: 辰巳砂昌弘, 忠永清治, 松田厚範, 仲間健一
参考文献: 各章末