ゾル-ゲル法による高屈折率透明厚膜材料の作製と微細パターニング

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ゾル-ゲル法による高屈折率透明厚膜材料の作製と微細パターニング

研究代表者 南努

（科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書, 平成13年度-平成14年度）

[南努], 2003.5

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ゾル ゲルホウ ニ ヨル コウクッセツリツ トウメイ コウマク ザイリョウ ノ サクセイ ト ビサイ パターニング

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Note

課題番号: 13555242

研究分担者: 辰巳砂昌弘, 忠永清治, 松田厚範, 仲間健一

参考文献: 各章末

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Details

  • NCID
    BA62899481
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    engjpn
  • Place of Publication
    [堺]
  • Pages/Volumes
    90p
  • Size
    30cm
  • Parent Bibliography ID
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