Materials & process integration for MEMS

著者

• Tay, Francis E. H.

書誌事項

Materials & process integration for MEMS

edited by Francis E.H. Tay

（Microsystems / series editor Stephen D. Senturia, v. 9）

Kluwer Academic Publishers, c2002

タイトル別名

Materials and process integration for MEMS

注記

Includes bibliographical references and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA63288519
• ISBN:
  • 1402071752
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Boston
• ページ数/冊数: xix, 299 p.
• 大きさ: 25 cm
• 親書誌ID:
  • BA39071521