真空紫外レーザ分光法によるプロセスプラズマ中の原子状ラジカルの気相・表面反応診断

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真空紫外レーザ分光法によるプロセスプラズマ中の原子状ラジカルの気相・表面反応診断

橘邦英研究代表

[橘邦英], 2003.3

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平成13〜14年度科学研究費補助金基盤研究(B)(2)研究成果報告書

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シンクウ シガイ レーザー ブンコウホウ ニ ヨル プロセス プラズマチュウ ノ デンシジョウ ラジカル ノ キソウ・ヒョウメン ハンノウ シンダン

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Details

  • NCID
    BA63363953
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    engjpn
  • Place of Publication
    [京都]
  • Pages/Volumes
    1冊
  • Size
    30cm
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