真空紫外レーザ分光法によるプロセスプラズマ中の原子状ラジカルの気相・表面反応診断

著者

• 橘, 邦英 タチバナ, クニヒデ

書誌事項

真空紫外レーザ分光法によるプロセスプラズマ中の原子状ラジカルの気相・表面反応診断

橘邦英研究代表

[橘邦英], 2003.3

タイトル別名

平成13〜14年度科学研究費補助金基盤研究(B)(2)研究成果報告書

タイトル読み

シンクウ シガイ レーザー ブンコウホウ ニ ヨル プロセス プラズマチュウ ノ デンシジョウ ラジカル ノ キソウ・ヒョウメン ハンノウ シンダン

• NII書誌ID(NCID): BA63363953
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: engjpn
• 出版地: [京都]
• ページ数/冊数: 1冊
• 大きさ: 30cm