薄膜マイクロ構造機械的特性評価試験機の試作

著者

• 駒井, 謙治郎 コマイ, ケンジロウ

書誌事項

薄膜マイクロ構造機械的特性評価試験機の試作

駒井謙治郎研究代表

[駒井謙治郎], 2003

タイトル別名

平成13〜14年度科学研究費補助金基盤研究(B)(2)研究成果報告書

タイトル読み

ハクマク マイクロ コウゾウ キカイテキ トクセイ ヒョウカ シケンキ ノ シサク

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA63371394
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: engjpn
• 出版地: [京都]
• ページ数/冊数: 1冊
• 大きさ: 30cm