IV族半導体の極薄酸化膜の界面評価に関する研究
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IV族半導体の極薄酸化膜の界面評価に関する研究
(科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書, 平成13年度-平成14年度)
[吉田貞史], 2003.3
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IVゾク ハンドウタイ ノ キョクハク サンカマク ノ カイメン ヒョウカ ニ カンスル ケンキュウ
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注記
研究課題番号13450120