表面波プラズマによる大面積・高品質液晶プロセスの開発

著者

• 菅井, 秀郎 スガイ, ヒデオ

書誌事項

表面波プラズマによる大面積・高品質液晶プロセスの開発

菅井秀郎[ほか著]

[出版者不明], 2003.3

タイトル別名

平成12〜14年度科学研究費補助金(基盤研究A(2))研究成果報告書

タイトル読み

ヒョウメンハ プラズマ ニヨル ダイメンセキ ・ コウヒンシツ エキショウ プロセス ノ カイハツ

注記

課題番号:12358004

研究分担者: 豊田浩孝, 石島達夫, Ghanashev Ivanほか

• NII書誌ID(NCID): BA63919198
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: engjpn
• 出版地: [出版地不明]
• ページ数/冊数: 57p
• 大きさ: 30cm