表面波プラズマによる大面積・高品質液晶プロセスの開発

Author(s)

Bibliographic Information

表面波プラズマによる大面積・高品質液晶プロセスの開発

菅井秀郎[ほか著]

[出版者不明], 2003.3

Other Title

平成12〜14年度科学研究費補助金(基盤研究A(2))研究成果報告書

Title Transcription

ヒョウメンハ プラズマ ニヨル ダイメンセキ ・ コウヒンシツ エキショウ プロセス ノ カイハツ

Available at  / 1 libraries

Search this Book/Journal

Note

課題番号:12358004

研究分担者: 豊田浩孝, 石島達夫, Ghanashev Ivanほか

Details

  • NCID
    BA63919198
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    engjpn
  • Place of Publication
    [出版地不明]
  • Pages/Volumes
    57p
  • Size
    30cm
Page Top