過剰空孔の導入及びその緩和過程制御による疑似単結晶シリコン形成技術の研究

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過剰空孔の導入及びその緩和過程制御による疑似単結晶シリコン形成技術の研究

研究代表者 宮尾正信

（科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書, 平成12年度-平成14年度）

[九州大学], 2003.3

Other Title

平成12年度-平成14年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書(12450015)

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カジョウ クウコウ ノ ドウニュウ オヨビ ソノ カンワ カテイ セイギョ ニヨル ギジタン ケッショウ シリコン ケイセイ ギジュツ ノ ケンキュウ

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Note

研究分担者:佐道泰造ほか

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Details

  • NCID
    BA63919278
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpneng
  • Place of Publication
    [福岡]
  • Pages/Volumes
    1冊
  • Size
    30cm
  • Parent Bibliography ID
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