過剰空孔の導入及びその緩和過程制御による疑似単結晶シリコン形成技術の研究
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書誌事項
過剰空孔の導入及びその緩和過程制御による疑似単結晶シリコン形成技術の研究
（科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書, 平成12年度-平成14年度）
[九州大学], 2003.3
- タイトル別名
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平成12年度-平成14年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書(12450015)
- タイトル読み
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カジョウ クウコウ ノ ドウニュウ オヨビ ソノ カンワ カテイ セイギョ ニヨル ギジタン ケッショウ シリコン ケイセイ ギジュツ ノ ケンキュウ
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注記
研究分担者:佐道泰造ほか